小型真空热压机提高了温控范围、升级了温度控制设置程序，用于玻璃、硅片、晶元、蓝宝石、石英等基材的中低高温键合，是一款硅基热压键合加工专用设备。真空热压键合机不仅可以满足通不同气体下的中低高温键合，还可以满足在真空环境下的中低温退火;其中高低温键合和中低温退火过程中的温度是可以灵活设置和编程;键合压力在量程内也任意可编程设置与控制。

小型真空热压机图片

　　是粉末冶金的重要设备，用于烧结铍、钛、铝合金、钴和镍基合金、钨、钼及特种合金钢等。

　　真空热压机由密封腔体、抽真空、热压、电气控制，充氮气，水冷等组成，采用四柱结构，导柱采用高频真空淬火处理可达到抗拉，耐磨之效果。导套采用高温直线轴承导套做导向，下压平顺稳发热板经过真空调质处理，表面电镀处理长期使用不变形，不生锈。发热管采用不锈钢电热丝埋铸式，不氧化，耐撞击，安全可靠，升温迅速，使用寿命长等优点。

　　真空热压炉的特点介绍：

　　1、本机由密封腔体、抽真空、热压、电气控制，充氮气，水冷等组成，采用四柱结构，导柱采用高频真空淬火处理可达到抗拉，耐磨之效果。导套采用高温直线轴承导套做导向，下压平顺稳。

　　2、上下热压板温度独立控制350度数显可调，温度稳定，既保证热板快速上升又节约了电能。

　　3、电加热采用PID温度指示调节仪控制和显示热板温度，具有控温精度高、温度显示直观，调节方便。使用恒温控制加热技术，温度控制精确。

　　4、铝合金工作平台，上下面平整，热导速度快，热导均发热板经过真空调质处理。发热管采用不锈钢电热丝埋铸式，不氧化，耐撞击，安全可靠，升温迅速，使用寿命长等优点。

　　5、前门上光学钢化玻璃门观察窗，玻璃窗安装于箱门中部，能清晰观察到内部试验物品在试验过程中的变化。

　　6、电气控制PLC控制一体机，可控制保压时间，适用于多种产品所需的压制时间要求。

　　7、采用精密调压阀调压，补压，压力精确可调，可设置压力大小，保证了制品的质量稳定性，气缸下压速度手动调节，针对不同的材料选用不同的速度压力控制。

　　8、门与门框之间采用密封材料及独特的硅橡胶密封结构，密封、抗老化。

　　9、加热面积大，加热板可按客户要求订制，涵盖常用大小芯片。

　　10、充氮气电磁开关控制，可充氮气氛保护，达成无氧化。

　　11、下加热板加一套水冷板，水冷系统可保持高温长时间工作，温度快速冷却，保证真空胶体不过热连续动作。

　　12、采用独特的真空热压系统，在保证芯片不损坏的情况下大幅度提高键合。

　　13、操作台和加压设备一体化，操作方便，结构紧凑美观。

　　复合材料真空热压机术参数

　　键合平台：230×200(长×宽)mm;

　　平台平行度：0.05mm;

　　可键合芯片厚度：0~140mm;

　　额定电压：AC220V/50HZ;

　　压力范围：0~3.5KN;

　　压力显示精度：±0.1KN

　　额定功率：1.4KW;

　　控温范围：室温~300℃;

　　温控精度：±1%(100℃以下±1℃);

　　上下板最大温差：3℃;

　　均匀升温速率：4℃/min(100℃以下);3℃/min(100℃~200℃);2℃/min(200℃以上);快速升温速率：10℃/min

　　支持温度编程段数：10段控温;

　　真空度：KPa级别

　　外接气氛接口：2×DN10

　　外形尺寸：420×260×610(长×宽×高)mm;

　　重量：120kg;